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產品名稱:
住友低溫泵 可提供維修保養(yǎng)服務
產品型號:
SICERA? Ultra KV-10
產品廠商:
巖瀨商事
產品文檔:
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簡單介紹
住友低溫泵 半導體專用 可提供維修保養(yǎng)服務/SICERA? Ultra KV-10 低溫泵，是 SHI SICERA Ultra 系列中型型號，專為 PVD ??應用而設計。與上一代型號相比，降低了壓縮機功耗，并提高了低溫泵的氣體容量。其出色的雙逆變器技術允許在正常熱負荷運行條件下，從而提高生產效率并節(jié)省能源。
住友低溫泵 可提供維修保養(yǎng)服務
的詳細介紹
住友低溫泵 半導體專用 可提供維修保養(yǎng)服務/SICERA® Ultra KV-10 低溫泵
住友低溫泵 半導體專用 可提供維修保養(yǎng)服務/SICERA® Ultra KV-10 低溫泵
產品特點：
專為 PVD 應用而設計
與上一代型號相比，降低了壓縮機功耗，并提高了低溫泵的氣體容量
出色的雙逆變器技術允許在正常熱負荷運行條件下，*多 5 臺低溫泵與 1 臺 TM-30 壓縮機配對
或 11 臺低溫泵與 1 臺 TM-50 壓縮機配對，從而提高生產效率并節(jié)省能源
應用：
物**相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）
離子注入是制造半導體晶圓和其他集成電路至關重要的低溫表面處理工藝
半導體專用：
智能手機和平板電腦（包括內置的加速度計和陀螺儀）
電視、藍光播放器和視頻游戲機
電腦、存儲卡和 USB 閃存盤
汽車導航和**氣囊傳感器、醫(yī)療和通信設備、工業(yè)機器人等等
